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「중소기업청 기술개발사업 종합관리시스템」을 통해 연구장비 검색 및 예약 가능한 「성균관대학교 산학협력단」 공동활용 장비 목록 및 사용료 정보입니다.

- 장비 목록 -

1. 실리콘 식각장비(Silicon Mico-Machine Etcher) / 사용료: 기타 200,000원

2. 열처리로(Diffusion Furnace) / 사용료: 회당 350,000원

3. 수직형 진공열처리기(Vertical Tube Furnace)/ 사용료: 시간당 60,000원

(이하 생략) 총 88점

※ 자세한 내용은 중소기업청 기술개발사업 종합관리시스템 홈페이지 (www.smtech.go.kr) 및 붙임문서를 참조하시기 바랍니다.

성균관대학교 산학협력단 공동활용 장비 목록 및 사용료(88개, 2018.08 기준).pdf

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